가변각도 레이저 엘립소미터

 • 비파괴 실험, 높은 정밀도, 넓은 측정범위 등의 장점을 가지고 있다. 박막의 두께, 굴절률을 정밀하게 측정할 수 있다.
• 관찰대상 시료에 타원편관 된 빛을 쪼여서 반사된 선편광된 빛을 검사한다.
• 버니버가 장착되어 0.1도 정밀도로 측각이 가능한 측각기에 달린 2개의 회전팔에 광원과 광검출기가 설치되어 있다.
 • 광원과 광검출기의 편광기로는 글랜톰슨(Glan-Thompson) 프리즘이 사용된다.
 • 박막시편은 1cm 가동범위와 0.01mm 정밀도의 마이크로 미터로 조절되는 상하이동 스테이지에 놓인다.
 • 레이저빔의 조사각 범위는 30도~ 90도이다.
• 타원편광시킨 레이저광을 시료에 조사하고 반사광의 편광방향에 직각으로 분석 편광기를 놓아 완전 소광될 때의 각도를 측정하는 소광 측정법(null method)을 시행하기 위해 검출기 대신 소형 스크린을 장착할 수도 있다.

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박막 두께 측정범위 : 1 nm ~ 300 nm 

조사 각 : 30° ~ 90°, 오차 ≤ 0.1°

회전범위
입사광 편광기, 분석 편광기 : 0° ~ 360°
1/4 파장판 : 0° ~ 360°
해상도 : 0.1 도

광 검출기
종류 : Si 광다이오드
검출면적: 5.8x5.8mm

시편 스테이지
상하 가동범위 : 10mm
정밀도 : 10 microns
기울임 범위 : +/- 2도

소프트웨어 : Δ – ψ 그래프를 그릴 수 있는 소프트웨가 제공된다. 그래프를 통해서 광학계수를 계산할 수 있다.


 Measurement Range : 1 nm ~ 300 nm
 Incident Angle : 30° ~ 90°, Error ≤ 0.1°

  Rotation Range
  Polarizer : 0° ~ 360°
  Quarter-Wave : 0° ~ 360°
  Resolution : 0.1 degree
  Laser : DPSS (532nm, 5mW)

  Laser Arm
  Rotation Range : 70 degree (from horizontal plane)
  Main Scale Division : 1 degree
  Resolution : 0.1 degree

  Detector
  Type : Si Photodiode
  Active area : 5.8 x 5.8 mm

  Detector Arm
  Rotation Range : 70 degree (from horizontal plane)
  Main Scale Division : 1 degree
  Resolution : 0.1 degree

  Sample Holder
  Height Adjustment Range : 10 mm
  Drive Resolution : 10 microns
  Tilting Range : +/- 2 degree