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특징
- 경화 및 건조가 필요한 경우 UV LED를 통한 경화 시스템 사용 가능
- 스핀 코팅기 챔버 내부의 가스 공급 퍼지 기능 제공
- 오일 부족 진공 펌프로 구동되는 진공 척은 기판을 회전 헤드에 고정 가능
- 최대 10단계까지 설정 가능
- 터치 스크린을 통해 간편한 조작 가능
사양
- 척 직경: 10mm, 22mm, 35mm
- UV 경화 파장: 365nm
- 불활성 가스 퍼징 튜브 직경: 6mm
- 용액을 분사하기 위해 피펫을 고정할 스탠드 홀더
| Actuator | Brushless DC motor |
| Spinning speed | 60 - 9999 rpm |
| Substrate diameter | 30 mm to 70 mm |
| Power input | 230V, 50Hz |
| Read out | 5 Inch touchscreen display |
| Spin chamber | Nylon |
| Acceleration | 5 - 2000 rpm / sec |
| Spinning Speed Accuracy | < 5% |
| Programmable parameters | Speed , Acceleration, Dwell ime and No. of steps |
| Maximum no of steps | 10 |
| Program memory | Infinite number of programs (non – volatile) |
| Dimension | 400mm Depth x 275mm W x 500mm H |
| Gas inlet port | 6mm diameter |
| Weight (appx.) | 34 Kg |
구조
제품 사진
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